同位素分析儀主要由計算機、外置泵和水汽同位素分析系統組成，采用波長掃描光腔衰蕩光譜（WS-CRDS）技術，具有高的穩定性、靈敏度和精度，操作簡單，可超高精度連續測量液態水和水汽同位素，為科學家提供了一個深入研究水循環（水汽、液態水和固體中的結合水）的有效平臺，是海洋學、水文學、植物生理、生命科學、古氣候學、大氣科學、食品科學、農學、礦井科學等同位素研究的重要工具。
同位素分析儀設備采用中紅外激光，通過高精確度傳感器進行特定識別，用單一的時間變量進行濃度分析，測量有效路徑長。
同位素分析儀的一些實用性設計：
同位素分析儀的測量腔室確保了更準確的溫度控制、更快的周轉速率、更低的噪音和更高的靈敏度；
為確保儀器在長達數月不斷變化的環境條件下獲得高準確度和低的漂移。儀器配備的高精度溫度和壓力控制系統。高穩定性、靈敏度和精度是基于傳統的吸收光譜技術和離軸積分腔輸出光譜技術（ICOS）分析儀不可比擬的。高精度波長監視器確保了只有特定的吸收光譜可以被測量到，這大大減少了分析儀對干擾氣體的靈敏度，從而確保在混合氣體中進行痕量測量和同位素的分析。
同位素分析儀緊湊堅固，安裝方便快捷，無需樣品準備和干燥，可用于惡劣環境下無用戶值守長期工作，數據可通過無線裝置進行遠程傳輸。能夠連接單點或多點土壤呼吸、群落光合測量系統。
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